HEPA过滤器主要用于捕集0.5μm以上的颗粒物和各种悬浮物。通常采用超细玻璃纤维作为滤材，偏移纸、铝箔膜等材料作为分隔板，并用木框铝合金粘合。随着新材料和新技术的发展，HEPA过滤器已从主要使用玻璃纤维作为滤材逐渐演变为使用PTFE、纳米薄膜材料和复合材料等新材料。
高效过滤器具有过滤效率高、阻力低、容尘量大等特点，可广泛应用于光学电子、LCD液晶制造、生物医药、精密仪器、饮料食品、PCB印刷等行业的无尘净化车间空调送风末端。
HEPA过滤器测试方法有钠焰法、油雾法、DOP法、荧光法和粒子计数法。钠焰法灵敏度低，无法检测ULPA过滤器。油雾法在测试过程中容易造成过滤器损坏，且不能直接读数，测试周期长。DOP法因DOP对人体有害、被列为危险物质而受到限制。荧光法目前仅在核工业系统中现场测试过滤器时偶尔使用。粒子计数法已成为HEPA过滤器和ULPA过滤器测试的主流方法。
与油雾法和DOP法相比，用作测试气溶胶的气溶胶粒径也不同。前两种方法的测试结果在0.3μm处，而粒子计数法测试的结果在最易穿透粒径MPPS处，测试要求严格，结果更准确。
目前行业认可度较高的标准是欧洲的EN 1822《高效空气过滤器（EPA、HEPA和ULPA）》和全球范围内的ISO 29463《用于去除空气中颗粒物的高效过滤器和滤材》。
HEPA过滤器的分类基于整体效率和局部效率测试结果，EN 1822和ISO之间略有不同，如下表所示。EN 1822中有E组、H组和U组，共7个等级的过滤器，而ISO 29463中有13个等级的过滤器。
EN 1822 | ISO 29463 | 整体效率 | 局部效率 |
E10 | – | ≥ 85% | —— |
E11 | ISO 15 E | ≥ 95% | —— |
ISO 20 E | ≥ 99% | —— | |
E12 | ISO 25 E | ≥ 99.5% | — |
ISO 30 E | ≥ 99.90% | —— | |
H13 | ISO 35 H | ≥99.95% | ≥99.75% |
ISO 40 H | ≥99.99% | ≥99.95% | |
H14 | ISO 45 H | ≥99.995% | ≥99.975% |
ISO 50 U | ≥99.999% | ≥99.995% | |
U15 | ISO 55 U | ≥99.9995% | ≥99.9975% |
ISO 60 U | ≥99.9999% | ≥99.9995% | |
U16 | ISO 65 U | ≥99.99995% | ≥99.99975% |
ISO 70U | ≥99.99999% | ≥99.9999% | |
U17 | ISO 75 U | ≥99.999995% | ≥99.9999% |
除整体效率和局部效率外，H13级以上的过滤器需要逐个进行泄漏扫描检测。根据过滤器中使用的滤材和过滤器使用场景，HEPA过滤器和ULPA过滤器在测试时需要多种气溶胶可供选择，这对气溶胶发生器提出了要求。例如，通常使用DEHS气溶胶，但当滤材为PTFE或过滤器用于半导体车间时，则需要PSL小球固体气溶胶来满足测试要求。
市场上最受认可的HEPA/ULPA过滤器测试设备是德国TOPAS的TOPAS AFS 150自动HEPA/ULPA过滤器扫描测试系统和TOPAS AFS 152手动HEPA/ULPA过滤器扫描测试系统。其他国家由于相应的产业链和技术不完善，难以制造出与之竞争的测试设备。
然而，经过几十年的快速发展，中国已在过滤测试设备行业形成了完整的产业链，从测试台外壳的钣金加工，到气溶胶发生器和粒子计数器等核心部件，再到测试动作控制的软硬件。依托这些技术，世尘科技 Technology具备了制造过滤器测试设备的能力（适用于HEPA/ULPA过滤器和一般空气过滤器）。并且通过多年的研发，我们与客户不断沟通，进一步完善产品。目前，我们的过滤器测试设备和滤材测试设备已服务全球30多个国家和地区的客戶，包括意大利、美国、韩国、泰国、印度、俄罗斯等。
SC-L8023/L8023U专为HEPA/ULPA过滤器制造商设计和制造，操作简单，测试结果稳定。提供标准过滤器用于测试系统的日常校准。
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