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洁净室需要测试的7个基本项目

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2026-05-14

测试项目:风速与风量、换气次数、温湿度、压差、悬浮粒子、浮游菌、沉降菌、噪声、照度等。具体可参考洁净室检测相关标准。


风速、风量与换气次数

洁净室、洁净区的洁净度主要是通过送入足够的洁净空气量,以置换、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向和流型等项目是非常必要的。

单向流主要依靠洁净气流的挤压置换,排出室内、区域内的污染空气以维持室内、区域的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。断面风速越高、越均匀,就能更快、更有效地排除室内工艺产生的污染物,因此它们是测试方案的主要关注点。

非单向流主要依靠送入的洁净空气来稀释室内、区域内的污染物以维持其洁净度。因此,换气次数越大,气流组织越合理,稀释效果越显著,洁净度也随之提高。因此,非单向流洁净室和洁净区的送风量及相应的换气次数是气流测试方案的主要关注点。

为了获得可重复的读数,应记录各测量点风速的时间平均值。

换气次数:根据洁净室总送风量除以洁净室体积计算得出。


温湿度

洁净室或洁净设施的温湿度测量通常分为两个等级:一般检测和综合检测。第一等级适用于空态竣工验收检测,第二等级适用于静态或动态综合性能检测。此类检测适用于温湿度性能要求较为严格的场合。

本检测在气流均匀性检测之后及空调系统调整完成后进行。进行本检测时,空调系统已充分运转且条件已稳定。每个湿度控制区域至少设置一个湿度传感器,并给予传感器足够的稳定时间。测量应符合其使用目的,只有在传感器稳定后方可进行测量,测量时间不少于5分钟。

本检测旨在验证竣工后的设施维持其与周边环境之间以及设施内部各空间之间规定压差的能力。本检测适用于所有三种占用状态。需要定期执行本检测。

压差检测应在所有门关闭的条件下进行,从高压到低压,从平面布局中离外界最远的房间开始,依次向外检测;有孔洞连通不同洁净级别的相邻洁净室(区)时,孔洞处应有合理的气流流向等。


压差检测要求

 1)静压差测定要求在洁净区域所有门关闭的情况下进行。

 2)在洁净平面图中应按照洁净度从高到低的顺序进行,一直检测到直接与外界相通的房间。

 3)测量管口应置于室内不受气流影响的位置,测量管口面平行于气流方向。

 4)测量记录的数据应精确到1.0Pa。


压差检测步骤:

 1)首先关闭所有门。

 2)用压差计依次测量洁净室与洁净室之间、洁净室与走廊之间以及走廊与外界之间的压差。

 3)记录所有数据。

压差标准要求

  根据洁净室设计或工艺要求确定所测洁净室维持正压或负压的值。

  1)不同级别的洁净室或洁净区与非洁净室(区)之间的静压差不应小于5Pa。

  2)洁净室(区)与室外的静压差不应小于10Pa。

  3)对于空气洁净度级别低于5级(100级)的单向流洁净室,在门开启时,距门0.6m处室内工作面的尘埃浓度不应大于相应级别的尘埃浓度限值。

  4)如果无法达到上述标准要求,应重新调整新风量、排风量,直至合格。


悬浮粒子

A、室内测试人员必须穿着洁净服,不得超过2人,应位于测试点的下风侧并远离测试点,且应保持静止。变换操作点位时动作应轻缓,尽量减少人员对房间洁净度的干扰。

B、设备应在检定有效期内使用。

C、设备在测试前后应进行”清零”操作。

D、在单向流区域,所选采样探头应接近等动力采样,进入采样探头的风速与被采样气流速度偏差不应超过20%。如无法实现,则采样口应正对气流主要方向。对于非单向流的采样点,采样口应垂直向上。

E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽可能短。

采样点一般距地面约0.8-1.2m,应科学合理均匀分布并避开回风口。对于任何小洁净室或局部空气净化区域,采样点数量不应少于2个,总采样次数可根据开口面积的平方根确定。最小采样点数对应悬浮粒子采样点数,工作区测点位置离地面0.8-1.2m左右,送风口测点位置距送风面约30cm,关键设备或关键工作活动处可增加测点,每个采样点一般采样一次。全部采样完成后,应将培养皿置于洁净室或局部空气净化区域中。

全部采样结束后,将培养皿放入恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应有对照实验以检验培养基是否被污染。


沉降菌

工作区测点位置离地面0.8-1.2m左右,将已制备好的培养皿置于采样点,打开培养皿盖使其暴露规定时间,然后盖上培养皿盖,将培养皿放入恒温培养箱中培养,时间不少于48小时,每批培养基应有对照实验,以检验培养基未被污染。


噪声

测量高度距地面约1.2米,洁净室面积在15平方米以下,可只测量房间中心1个点;面积在15平方米以上,还应沿对角线测量4个点,距侧墙1米,测点朝向角落。


照度

测量点平面距地面约0.8米,按2米间距布点,30平方米以内的房间测点距侧墙0.5米,30平方米以上的房间测点距墙面1米。


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