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洁净室测试方法与流程

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2026-05-14

洁净室测试状态可分为三类:

1、空态:洁净室的所有设施已连接并运行,但无生产设备、材料和生产人员。

2、静态:洁净室的所有设施已建成,生产设备已安装并按业主与供应商约定的方式进行试运行,但现场无生产人员。

3、动态:设施按规定方式运行,并按规定方式有人员在现场工作。


洁净室测试流程

所有使用的检测仪器设备必须按规定进行鉴定、校准或校验。测量前,必须对系统、洁净室、机房等进行全面清洁,清洁和系统调整必须连续运行一段时间,然后进行检漏等项目的测量。洁净室的测量程序如下:

风机送风 → 室内清洁 → 调整风量 → 安装中效过滤器 → 安装高效过滤器 → 系统运行 → 高效过滤器检漏 → 调整风量 → 调整室内静压差 → 调整温湿度 → 单向流洁净室断面平均速度、速度不均匀度测定 → 室内洁净度测定 → 室内浮游菌和沉降菌测定 → 生产设备相关工作与调整。


测试依据

    包括规范、图纸、设备设计文件和技术资料。分为以下两类:

    1、设计类:设计文件、设计变更的配套文件及相关协议、竣工图纸;

    2、设备技术资料。


测试方法及结果判定

    1、风量或风速测试

    (1)仪器设备与环境测量仪器

叶轮风速仪、热球风速仪、毕托管、微压计、风量罩。环境温度为室温或设计温度。

    (2)对有设计要求的区域进行采样测试。

    (3)风量和风速检测必须首先开启净化空调,各项效果必须在设计的风量和风速条件下获得。

    (1)乱流洁净室系统实测风量值应大于各自的设计风量值,但不应超过20%。实测新风量与设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%。室内各送风口的风量与各自设计风量之差不应超过设计风量的±15%。

    (2)单向层流洁净室实测室内平均风速应大于设计风速,但不应超过20%。实测总新风量与设计新风量之差不应超过设计新风量的±10%。

    2、室内静压差测试

    (1)仪器设备与环境测量仪器:倾斜式微压计、数字微压计等。环境温度为室温或设计温度。

    (2)对有设计要求的各相邻区域进行采样测试。

    (3)技术要求:静压差测试结果应符合以下规定

    (1)不同级别的相邻洁净室之间以及洁净室与非洁净室之间的静压差不应小于5Pa。

    (2)洁净室与室外的静压差应大于10Pa。

    (3)洁净度高于100级的单向流层流洁净室,在开门状态下,出入口室内侧0.6m处测得的浓度不应超过室内级别的上限浓度。

    3、空气过滤器检漏

    (1)仪器与环境测量仪器:尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度为室温或设计温度。

    (2)采样:高效过滤器进场前,生产厂家应按要求进行性能测试并提供合格证。安装在单向流洁净室中的高效空气过滤器应逐个进行检漏测试。

    (3)操作过程及判定:过滤器检漏适用于已安装完成的高效过滤器,适用于空态或静态的洁净室。对于安装在送风和排风末端的高效过滤器,应采用扫描法进行过滤检漏,扫描方法包括检漏仪法和采样量不低于1L/min的粒子计数器法两种。此处采用粒子计数器法进行检漏。

    (1)被检过滤器必须在设计风速80%~120%之间的风量下运行并已完成风量测量。

    (2)使用粒子计数器检查高效过滤器的泄漏情况。

    其迎风侧应引入均匀浓度的大气尘或其他气溶胶粉尘空气。大于或等于0.5μm的尘粒浓度应大于或等于3.5×105pc/m3;或大于或等于0.1μm的尘粒浓度应大于或等于3.5×107pc/m3;如检测D级高效过滤器,大于或等于0.1μm的尘粒浓度应大于或等于3.5×109pc/m3。

    (3)检漏时,将采样口置于距被检过滤器表面2~3cm处,以5~20mm/s的速度移动,扫描被检过滤器的整个截面、封头胶和安装边框及安装框架。在扫描过程中,对计数突然增大的部位应进行抽检,发现泄漏现象时,即用硅橡胶补漏或更换高效过滤器。



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